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東莞日成真空泵維修有限公司

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愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修

愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修

  • 產(chǎn)品型號(hào):臺(tái)
  • 產(chǎn)品規(guī)格:LR3601-R
  • 產(chǎn)品品牌:ULVAC愛發(fā)科
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  • certification-photo1
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修 特點(diǎn) LR系列: 除了在低溫范圍內(nèi)浸泡溫度惰性氣體排出外,它特別適用于裝卸室中的排氣,重要的是縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量

產(chǎn)品詳情

愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修

特點(diǎn)

LR系列:

除了在低溫范圍內(nèi)浸泡溫度惰性氣體排出外,它特別適用于裝卸室中的排氣,重要的是縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量

HR系列/ UR系列:

可以在氣體狀態(tài)下排出在高溫區(qū)域浸泡CVD,蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)

1000毫秒內(nèi)瞬時(shí)中斷的對(duì)策

CE兼容(可選)


使用

活性氣體(CVD,干蝕刻等)

惰性氣體排放(濺射,氣相沉積,熱處理等)

縮短裝卸室的疏散時(shí)間(LR系列)

粉末生成過程中的廢氣(Si單晶拉制等)

作為輔助排氣泵(渦輪分子泵,機(jī)械增壓泵輔助排氣)

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