愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修 特點(diǎn) LR系列: 除了在低溫范圍內(nèi)浸泡溫度惰性氣體排出外,它特別適用于裝卸室中的排氣,重要的是縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量
愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修
特點(diǎn)
LR系列:
除了在低溫范圍內(nèi)浸泡溫度惰性氣體排出外,它特別適用于裝卸室中的排氣,重要的是縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量
HR系列/ UR系列:
可以在氣體狀態(tài)下排出在高溫區(qū)域浸泡CVD,蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)
1000毫秒內(nèi)瞬時(shí)中斷的對(duì)策
CE兼容(可選)
使用
活性氣體(CVD,干蝕刻等)
惰性氣體排放(濺射,氣相沉積,熱處理等)
縮短裝卸室的疏散時(shí)間(LR系列)
粉末生成過程中的廢氣(Si單晶拉制等)
作為輔助排氣泵(渦輪分子泵,機(jī)械增壓泵輔助排氣)