2、啟動(dòng)真空泵前,要檢查泵的油位是否合乎要求,高真空閥及前級(jí)閥是否關(guān)閉。打開粗抽閥,在中小型抽氣系統(tǒng)中,只需要簡(jiǎn)單的粗抽管道。在某些特殊要求的大型真空室里,可采用多步程序進(jìn)行粗抽:首先,可通過一個(gè)小直徑的孔或旁路管道對(duì)真空室進(jìn)行粗抽,當(dāng)壓力降到?jīng)]有紊流存在時(shí),再打開主粗抽閥門。
3、當(dāng)真空室內(nèi)的壓力降到100Pa之后,可打開前級(jí)管道閥并給擴(kuò)散泵加熱器通電。如果擴(kuò)散泵已經(jīng)處于真空封閉狀態(tài),則可在步驟1) 中同時(shí)加熱擴(kuò)散泵。當(dāng)擴(kuò)散泵剛開始通電加熱時(shí),如果電源有調(diào)壓器時(shí),開始可適當(dāng)增加點(diǎn)電壓,但泵油接近于蒸發(fā)溫度時(shí)應(yīng)把電壓調(diào)回到規(guī)定電壓,這樣可加快起動(dòng)。但應(yīng)注意時(shí)間過長(zhǎng)會(huì)造成泵油裂化。
4、一般將系統(tǒng)粗抽到15~20Pa左右時(shí),關(guān)閉粗抽閥,等擴(kuò)散泵正常工作后(即油蒸汽射流正常噴射),打開高真空閥進(jìn)行抽氣。
5、如果擴(kuò)散泵正常工作一段時(shí)間后,被抽容器的真空度仍不提高,則說明系統(tǒng)漏氣率太大,應(yīng)當(dāng)關(guān)閉高真空閥,待系統(tǒng)漏率符合要求時(shí)再打開高真空閥進(jìn)行抽氣。
系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)應(yīng)按下述步驟進(jìn)行:
1、關(guān)閉高真空閥。
2 、如果在擴(kuò)散泵入口與高真空閥之間裝有液氮冷阱,則在關(guān)閉高真空閥后,應(yīng)使冷阱升溫,讓擴(kuò)散泵抽走冷阱放出的氣體和蒸汽。冷阱升溫可采用自然升溫和用干燥氮?dú)獯狄旱獌?chǔ)罐兩種方法。前者升溫時(shí)間較長(zhǎng),后者可使升溫時(shí)間大大縮短。
3、切斷擴(kuò)散泵加熱電源。如有冷阱,可在冷阱溫度回升到0℃時(shí),切斷擴(kuò)散泵電源。
4、當(dāng)擴(kuò)散泵冷卻到50℃時(shí),關(guān)閉前級(jí)閥,然后關(guān)掉機(jī)械泵,并立即向泵內(nèi)放入大氣(可通過電磁放氣閥自動(dòng)完成)。
5、關(guān)掉擴(kuò)散泵的冷卻水。
6、在真空系統(tǒng)停止工作時(shí),如無特殊要求,應(yīng)將系統(tǒng)各元件保持在真空狀態(tài)下封存,但機(jī)械泵內(nèi)應(yīng)通大氣。
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