漢鐘PS系列螺桿真空泵特點(diǎn):
1 排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積
2線(xiàn)性密封性佳,泵性能優(yōu)
3結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,維修容易
4電機(jī)水冷設(shè)計(jì),通過(guò)防爆認(rèn)證,安全百分比
5 微電腦操作,遠(yuǎn)端監(jiān)控,保護(hù)周全
上海漢鐘干式真空泵 PS系列
包括機(jī)型 漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160,漢鐘真空泵 PS180,漢鐘真空泵 PS602,漢鐘真空泵 PS902,漢鐘真空泵 PS1302,漢鐘真空泵 PS1802
臺(tái)灣漢鐘真空泵PS系列產(chǎn)品特點(diǎn)
螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色
漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑,因而無(wú)油氣回漏污染的問(wèn)題。透過(guò)專(zhuān)利轉(zhuǎn)子線(xiàn)形良好的密封效果,壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng),加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。
泵浦溫度控制精準(zhǔn)
漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),同時(shí)改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來(lái)降低殼體的溫度,能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度,減少沉積物的產(chǎn)生,增加真空泵浦的壽命。
密封馬達(dá)安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用專(zhuān)利設(shè)計(jì)的水冷罐裝密封馬達(dá),除了能維持更低的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風(fēng)險(xiǎn)。
微電腦控制保護(hù)周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時(shí)監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮?dú)饬髁恳约褒X輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護(hù),十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。
1. 新品真空泵 :
臺(tái)灣漢鐘螺桿式干式真空泵(hanbell),新品真空泵有德國(guó)BECKER貝克系列真空泵,全新Edwards愛(ài)德華系列真空泵,具體品牌型號(hào)歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
2. 二手真空泵:
二手真空泵,有油式/干式/渦卷式/碳片式/冷凍式真空泵,真空系統(tǒng)設(shè)備等,具體歡迎咨詢(xún)。
優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品包括:
漢鐘PS1802,漢鐘PS1302,漢鐘PS902,漢鐘PS602,愛(ài)德華RV12,愛(ài)德華RV5,愛(ài)德華RV8,愛(ài)德華E2M18,愛(ài)德華E2M28,愛(ài)德華E2M40,愛(ài)德華E2M80,愛(ài)德華E2M275,貝克U4.100,貝克U4.40,貝克VT4.40,貝克VT4.8,紀(jì)維GWSP300,紀(jì)維GWSP600,紀(jì)維GWSP150,萊寶D65B,萊寶D16B,萊寶D25B,阿爾卡特2033,阿爾卡特2021,愛(ài)德華19號(hào)油,愛(ài)德華20號(hào)油,愛(ài)德華70號(hào)油,F(xiàn)OMBLIN25/6, FOMBLIN16/6,松村MR-200,松村MR-250,松村MR-100,杜邦1525,愛(ài)德華油霧過(guò)濾器等