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nXDS20i是下一代完全無油的干式渦旋泵，可在各種應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDs提高了傳統(tǒng) XDs泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS還采用了*新的端部密封技術(shù)，顯著延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDs 可完全進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
概述
nXDS20i是下一代完全無油的干式渦旋泵，可在各種應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDs提高了傳統(tǒng) XDs泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS還采用新的端部密封技術(shù)，顯著延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDs 可完全進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
用途
一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描導(dǎo)微鏡SEM
射束線和高能物理
前級(jí)渦輪泵
速離心機(jī)
愛層
低溫學(xué)
脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干爆
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
氣體回收和再循環(huán)
氨檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢(shì)
真空外殼中不雪要使用潤(rùn)滑劑完全密封可保證清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承亮全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與**的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需*低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過US8、RS232或RS485實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
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