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純氧、高純氧、超純氧（GB/T14599-2008)
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項目名稱
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指標
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超純氧
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高純氧
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純氧
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氧氣（O2)的體積分數(shù)/10 ≥
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99.9999
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99.999
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99.995
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（H2)的體積分數(shù)/10 ≤
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0.1
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0.5
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1
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氬（Ar）的體積分數(shù)/10 ≤
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0.2
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2
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10
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氮（N2)的體積分數(shù)/10 ≤
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0.1
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5
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20
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0.1
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0.5
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2
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二氧化碳含量/10 ≤
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0.1
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0.5
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1
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水分/10 ≤
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0.5
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2
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3
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注：表中純度和含量均以體積分數(shù)表示（V/V)。
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