點(diǎn)擊圖片查看大圖PR500/510等離子灰化機(jī)
高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
特征
·大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
·小型一體化設(shè)計
·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
規(guī)格
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型號 |
PR500 |
PR510 |
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模式 |
DP模式，桶型 |
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控制部 |
高頻輸出功率 |
Max500W |
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頻率 |
13.56MHz |
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同調(diào)方式 |
自動協(xié)調(diào) |
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反應(yīng)部 |
反應(yīng)腔 |
石英 Φ215×305mm |
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反應(yīng)氣體 |
2系統(tǒng)（O2／CF4） |
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控制 |
手動 |
觸摸屏自動控制 |
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配管材質(zhì) |
不銹鋼、特氟龍 |
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外形尺寸 |
W438×D520×H760mm |
參照規(guī)格書 |
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重量 |
約60kg |
參照規(guī)格書 |
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電源 |
單相AC100V 9A |
三相AC200V 8A |
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