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專業(yè)生產(chǎn)超高真空檢漏儀 精密超高真空檢漏儀
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詳細(xì)信息

  超高真空檢漏儀

  一、用途

  本設(shè)備主要用于對有密封要求的封裝器件進行真空檢漏,以便發(fā)現(xiàn)漏孔位置。特別適合于對真空保持有很高要求的器件進行檢測,可以確定出器件漏率大小,判斷器件真空壽命。

  二、主要技術(shù)參數(shù)

  1.小可檢漏率(密封金屬管):5×10-14 atm cc He/s。

  2.漏率測量范圍:1×10-10 atm cc He/s~ 5×10-14 atm cc He/s。

  3.Flow-Through模式下,檢漏的小響應(yīng)時間不大于3秒。

  4.系統(tǒng)真空度(未帶檢測器件)達10-8Torr時,所需抽真空時間不大于4小時。

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