特長
● 低溫領(lǐng)域下的均熱化。 ● 低噪音、低振動(dòng)
● 優(yōu)良的耐腐蝕性 ● 多種自主功能選購件
用途
◆ 活性氣體◆ 非活性氣體◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣◆ 作為前級泵使用◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣
*1 極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w)在5.0 SLM時(shí)的值。
*2 無結(jié)露。
*3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
*4 氮?dú)猓芊鈿怏w)流量5.0 SLM是固定值。
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愛發(fā)科NRL180干式真空泵維修
產(chǎn)品屬性
詳細(xì)信息 特長 ● 低溫領(lǐng)域下的均熱化。 ● 低噪音、低振動(dòng) ● 優(yōu)良的耐腐蝕性 ● 多種自主功能選購件 用途 ◆ 活性氣體◆ 非活性氣體◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣◆ 作為前級泵使用◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣 *1 極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w)在5.0 SLM時(shí)的值。 *2 無結(jié)露。 *3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。 *4 氮?dú)猓芊鈿怏w)流量5.0 SLM是固定值。
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